◎文《法人》全媒体记者李韵石

访中电投检测中心有限公司董事长谭军

实验室环境是高新技术诞生圣地，高精密设备制造受控环境对高科技发展至关重要，稍有偏差，将影响实验成果的最终落地。中电投工程研究检测评定中心有限公司（下称“中电投检测中心”）作为全国首家高精密制造业环境质量检测国家级质检中心，成立12年来始终致力于检验检测领域，成功完成了国家多个重大项目检测任务，为我国高新技术发展提供了环境基础保障。

国家技术标准制定者

四月末的一天下午，在中电投检测中心北京总部会议室，接受《法人》记者采访的中电投工程研究检测评定中心有限公司董事长谭军表示，中电投检测中心隶属于中国电子工程设计院有限公司（下称“电子工程院”）。中心成立的目的是为了能够更好地发展我国半导体产业，需要成立国家级的、综合性的负责高精密设备制造受控环境检测单位。

“年，中心刚成立时，我们只有12个人。”谭军回忆起中电投检测中心的发展历程，笑中带着些许感慨。“成立之初，我们压力很大，因为许多检测技术不掌握，只能摸着石头过河，一点点探索某项技术的环境要求参数。”

谭军告诉记者，随着全球芯片、制药和生物技术为代表的现代高科技发展，中国要在这些领域奋起直追，高精密设备制造受控环境对高科技发展至关重要。此前，中国许多技术不成熟，除了存在技术缺陷外，实验室洁净程度不达标也是影响相关技术进步的关键因素。没有技术怎么办？只能靠自己，通宵攻克难题，熬夜掉头发已是常态。那么,何为高精密设备制造受控环境呢？

对此，谭军告诉记者，就是非常干净的环境。按照ISOI级要求，每立方米内直径大于1μm（一根头发丝直径的1/60）的颗粒不能超过10个，对检测提出极高要求。

“高精密设备制造受控环境的洁净度远超手术室洁净度。”谭军向记者讲述,“比如光刻机，我国现有光刻机良品率还有很大提升空间。”

谭军介绍，中国大陆地区目前在28nm工艺的良品率已经达到99%，而14nm工艺良品率仅达到90%至95%。芯片制造工序高达多步，即使每一步工序合格率都有99%，最终良品率也会在0.9乘0.9的多次累积下，趋近于0。所以，每个步骤合格率需要控制在99.99%乃至99.%以上。每个配件必须极其精密，相关配件具有很大突破空间。

“在高精密制造业，特别是芯片半导体行业，如果提高一个百分点的良品率，不仅可以给一个制造企业带来10亿元人民币的利润，更重要的是，可为制造更精密光刻机提供重要技术支持。”谭军说。

由于全球半导体制造业飞速发展，技术更新迭代速度不断提升，对工程环境标准要求趋向严格。在此情况下，谭军和他的团队在电子工程院领导下，开启了属于我国的自主研发道路。时至今日，中电投检测中心已由12人发展到人。通过北京市新技术新产品（服务）认定13项；授权知识产权53项；已发布实施主参编标准规范40部；在编标准规范36部；公开发表论文余篇，获得省部级以上奖项11项，获得国投集团、电子工程院科技奖项17项。

国家级检测行业逆行者

环境检测工作看似安逸，但谭军也有进入高危区域工作的经历。年8月13日凌晨，睡梦中的谭军被一阵急促电话声惊醒，电话内容仅有12个字:快来会议室开会，有重要任务。

中电投检测人员为西藏藏中联网项目进行检测资料图片

到了会议室，谭军得知位于天津市滨海新区的国家超级计算天津中心因天津港爆炸事故停止工作。为确保国家信息数据畅通，必须在48个小时内完成对超算中心及运行安全评测。当时选择人员的标准是：有孩子的可以去，没成家身体好的可以去，其他人不可以去。

8月13日天一亮，谭军和其他7名同志赶到国家超级计算天津中心大楼。该中心处于有毒气体海风倒灌区域，虽然谭军和同事们都是全防护状态，但8月中旬天津气温很高，在大楼没有照明情况下，大家需要在手提检测设备同时，肩扛照明设备，工作非常辛苦。

“当时8个人分3组，每组负责相关工作，有的负责安全性，有的负责机房内系统设施，有的负责空调冷暖相关具体技术。”在当时的高危环境下，谭军等人每工作两个小时就要撤到一个安全距离区域，再由车辆将他们送到可以脱掉防护服的地方休息。脱下来的靴子里面，全是汗水。

而另一个项目——藏中联网工程的经历，也令中电投检测中心的工作人员终生难忘。

藏中联网工程是迄今世界上海拔最高、跨度最大、自然条件最复杂、最具挑战的高原输变电工程，也是挑战生存极限的超级工程。工程分两部分：一部分是西藏藏中和昌都电网联网工程，另一部分是川藏铁路拉萨至林芝段供电工程。工程自西藏昌都市芒康县起，至西藏山南市桑日县止，跨越西藏三地市十区县，新建、扩建变电站16座，架线线路公里，建铁塔基，总投资亿元。其中，东达山千伏输电塔位，海拔高度米，创世界之最；千伏芒康变电站海拔米，创世界之最。

为确保按时完成该项目验收工作，年4月，中电投检测中心派张芸等7名技术人员，对左贡至波密千伏线路7个标段实施工程质量监督检验。

检验所经线路地质条件复杂，横跨怒江天险、原始森林、悬崖峭壁，还穿越然乌湖、米堆冰川等国家级自然保护区，平均海拔达米以上。东达山铁塔海拔米，超越了珠峰大本营的海拔高度。张芸作为此次检测任务的负责人，拥有30余年电力工程检测经验，但高血压病史令她在飞抵拉萨后感到身体极度不适。

然而，藏中联网工程是造福西藏各族群众的“德政工程”和“民心工程”，为了项目顺利进行，张芸在严重高原反应情况下，依然完成了相关任务，在规定时间内和同事一起完成检测验收任务，确保项目按时完成。此后，张芸的身体达到极限，视物模糊、恶心呕吐、呼吸困难、咳粉红色泡沫痰。应急医疗组立即对她采取医疗措施，抓紧时间转移至平原地区。

中国制造面临机遇与挑战

中国制造业体系有着完善程度高、规模庞大、种类丰富等特点，但是缺点也非常明显，即高端核心技术不足，过度依赖于技术进口。为此，国务院于年5月印发《中国制造》，这是中国实施制造强国战略第一个十年行动纲领。

《中国制造》提出，建设世界制造强国要以技术创新驱动发展为主题，以新一代信息技术与制造业深度融合为主线，以推进智能制造为主攻方向，实现制造业由大变强，并且要以积极发展服务型制造和生产性服务业为主要战略任务。任务主要包括保证制造业与其他产业协同发展，推动技术创新和产业转型升级，推进传统制造产业向智能化制造产业转变。

“在《中国制造》行动纲领指导下，我国迎来了科技创新发展热潮，中电投检测中心获得更多机会，平均以每年+30%的速度增长，当然也遇到了困难与挑战。”谭军告诉记者，主要困难在于持续研发投入。

谭军介绍，在进行突破和创新的时候，需要大量研发投入。然而，投入不一定能换回成果。“在电子工程领域，我们没有那么多技术。除了花钱去买，只能靠自己解决，此时的研发投入消耗更高。”

提升企业技术创新能力是中国经济社会实现高质量发展、全面建设社会主义现代化国家的必然要求。没有技术创新就没有未来，在技术上想要作出突破和创新，面临的首要问题就是要承担投入不能换回成果的重要风险，需要大量投入人力和物力。高精密制造业是知识密集、技术含量大、具有高附加值的创新产品，产品开发与更新速度已成为竞争主要手段，不断更新的工艺成为关键，而这些都需要严苛的科研环境作为保障。

对此，谭军认为，科技创新是引领行业发展的第一动力。“作为一个科技型企业，年中心入选国家专精特新重点‘小巨人企业’，这无疑是对我们最大的鼓励与肯定。”他对记者说，“未来，我们还需要继续努力，因为在日新月异的科技创新发展过程中，需要控制的环境参数越来越多，控制粒子粒径越来越小，控制浓度越来越低。我们身上的担子还很重。”

（责编王茜）