（报告出品方/作者：光大证券，刘凯，杨德珩）

1.1、深耕制程设备、工艺支持设备、高纯工艺系统业务

公司的主营业务主要包括半导体制程设备、工艺支持设备的研发和生产销售，以及由此衍生的高纯工艺系统建设、电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务。公司的经营战略确立为“

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