深圳市托理拆利机电设备有限公司是英国Edwards爱德华真空泵授权代理商，为客户24小时提供技术支持及售后服务，针对各个行业工艺端设计提供适合的负压真空系统解决方案，为半导体、平板显示器、LED和太阳能电池制造、工业、制药、化工、科研、加工、玻璃镀膜、食品包装行业等提供优化的真空解决方案。

半导体辅助设备Edwards爱德华真空泵EM\RV\EH\GV机械泵油配件大全

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半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀，真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，半导体生产制造过程中容易产生易燃易爆以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，半导体真空泵应用时需要注意安全事项。

edwards旋片式真空泵——Edwards爱德华EM系列：

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Edwards旋片式真空泵——Edwards爱德华RV系列：

RV3,RV5,RV8,RV12

Edwards罗茨泵——Ewards爱德华EH系列：

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Edwards干式真空泵——Edwards爱德华GV干式真空泵系列：GV80，GV，GV，GV

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